案例研究背景

半导体制造厂和集成设备制造商(IDM)是重度用水的用户。 大量的水用于各种目的,从在工艺之间清洁晶片到在洁净室中产生湿度。

由于清洗超纯水的成本很高,水被广泛地再利用和回收采用。 把水处理得刚好足以用于下一个工艺,从而维持效率。 在纯水用量比第一次使用少的生产过程部分中重复使用水,这是常见的做法。 例如,用于冲洗的水随后可用于冷却。